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更新日期:2024-03-21
簡要描述:
日本fcon氣體混合器CUBE GM系列● 氣體混合器[CUBEGM 系列]是包含質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥和氣體混合器的單元型。● 以z低配置實現(xiàn)低價格。● 只需在IN側(cè)和OUT側(cè)連接配管,即可將2~4種氣體設(shè)定、控制為任意流量,供給混合氣體的裝置。
日本fcon氣體混合器CUBE GM系列
日本fcon氣體混合器CUBE GM系列
產(chǎn)品名稱 | CUBE GM系列 |
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尺寸 | CUBEGM2: W315 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM3: W415 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM4: W515 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 |
輸入電源 | AC100V |
目前的消費 | MAX 1A * 安裝 4 個質(zhì)量流量控制器時 |
流量控制范圍 | 1 行:FS10SCCM ~ 20SLM * 但是,混合氣體流量必須為 50SLM 或更少。 |
流量控制 | MFC:C1000系列或FCST1000系列 |
流量設(shè)定/輸出顯示 | 0-5VDC |
入口、出口閥 | 球閥 |
外漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He |
耐壓 | 1MPa |
氣體接觸材料質(zhì)量 | SUS316、PTFE、氟橡膠 (FCST1000系列:磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠) |
管道連接 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)和其他配件,請聯(lián)系我們。 |
使用環(huán)境 | 溫度:5 至 50°C 精度保證范圍:15 至 35°C 濕度 30 至 80%(無冷凝) |
配件 | AC 電纜 (2m)、使用說明書 |