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日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機

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更新日期:2024-03-17

簡要描述:

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機
由于它是由線性電動機控制的,因此消耗的空氣更少。(相當于被動隔振表)
特別針對對振動敏感的精密測量設(shè)備的振動隔離措施以及針對低頻振動較大的安裝環(huán)境進行了優(yōu)化。
VAAV系列中z高的性價比。

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機

高速計算通過*的主動隔振算法執(zhí)行,并且不使用空氣的超快速響應(yīng)線性致動器和超靈敏的速度傳感器可立即消除振動。

由于空氣彈簧僅用于負載支撐,因此只要安裝了小型壓縮機和電源,使用安裝在地板側(cè)的超靈敏速度傳感器的前饋可提供世界上z高水平的隔振性能。

此外,與VAAV-L系列一樣,使用了z柔軟的空氣彈簧,從而實現(xiàn)了該系列中z高的隔振性能。

特點

  • 振動傳遞特性無共振。
    由于它配備了VAAV系列中z柔軟的空氣彈簧,因此可以實現(xiàn)該系列中z佳的隔振性能。
  • 由于它是由線性電動機控制的,因此消耗的空氣更少。(相當于被動隔振表)
  • 特別針對對振動敏感的精密測量設(shè)備的振動隔離措施以及針對低頻振動較大的安裝環(huán)境進行了優(yōu)化。
  • VAAV系列中z高的性價比。
  • 振動波形顯示分析軟件是標準設(shè)備。

用途

  • 使用電子顯微鏡,可以防止高倍率圖像因振動而模糊。該有源隔振臺對于不喜歡無法通過被動隔振臺*消除的低頻振動的顯微鏡有效。
  • 它用作對振動特別敏感的設(shè)備(例如掃描隧道顯微鏡,原子間力顯微鏡和光學(xué)測量設(shè)備)的振動對策。
  • 低頻振動大的安裝地面環(huán)境的防振措施

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-S直線電機

模型可安裝質(zhì)量(1個單位)尺寸(1個單位)
VAAV-1000S500-1700公斤190(寬)x 190(深)x 178(高)mm
控制器
SEC-03
335(寬)x 410(深)x 130(高)mm
控制自由3軸6自由度
振動傳遞函數(shù)參見下面的圖1和圖2
所需氣源0.5MPa以上消耗流量相當于被動
需要電源AC100V-240V 200VA(單相)
控制方式速度反饋,地板前饋
z大推力水平方向:20N垂直方向:40N注)4個單位使用時
產(chǎn)生的磁場0.04μT以下注)距本機150mm處的交流磁場
 

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